等离子废气处理设备的等离子体是继固态、液态和气态之后的第四种物质状态，当施加的电压实现气体的放电电压时，气体被分解，产生电子、各种离子、原子和自由基的混合物，虽然放电过程中电子温度很高，但重粒子的温度很低，整个系统呈现低温状态，因此称为低温等离子体，低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等粒子，在短时间内分解污染物分子，进行后续反应，实现降解污染物的目的。
一、工作原理：
处理设备也称为低温等离子废气净化器。
在电催化的一般设计概念下，该过程分为两个混合激励系统：微波激励区和等离子体激励区。
低温等离子体技术处理污染物的原理是：在外部电场的作用下，介电放电产生的大量载能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后引发一系列复杂的物理和化学反应，使复杂的大规模污染物转化为简单的小分子，或将有毒有害物质转化为无毒无害物质或低毒低害物质，使污染物降解去除。由于电离后产生的电子的平均能量为10ev，因此通常难以实现或缓慢的化学反应可以通过适当地控制反应条件以变得非常快来实现。
二、等离子废气处理设备在等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能的反应过程中的能量传递大致如下：
（1）电场+电子→ 高能电子
（2）高能电子+分子（或原子）→ （受激原子、受激基团、自由基团）活性基团
（3）活性基团+分子（原子）→ 产品+热量
（4）主动组+主动组→ 产品+热量
从上述过程可以看出，电子要先从电场获得能量，然后通过激发或电离将能量转移到分子或原子，获得能量的分子或原子被激发，一些分子被电离，从而成为活性基团；之后，这些活性基团与分子或原子碰撞，活性基团相互碰撞以产生稳定的产物和热量，此外，高能电子也可以被具有强电子亲和力的物质捕获，如卤素和氧，并成为负离子，这些负离子具有良好的化学活性，在化学反应中发挥重要作用。
三、
等离子废气处理设备去除污染物的基本流程：
过程1：
高能电子的直接轰击
过程2：
O原子或臭氧（O2+e）的氧化→ 2O）
过程3：
OH自由基（H2O+e）的氧化→ OH+H，H2O+O→ 2OH，H+O2→ OH+O）
过程4：
分子碎片与氧的反应
